王凡集成电路 上海市集成电路生产企业召开​ 含氟温室气体排放因子专题研讨会

近日,上海集成电路生产企业含氟温室气体排放因子专题研讨会在上海市发改委会议室召开。市发改委郭建利副处长、市信息中心刘佳主任出席会议。

市同际碳资产咨询服务有限公司顾庆平总经理主持会议。为了精准收集和科学处理相关温室气体排放因子的数据,进一步公正评价企业工作绩效,更切合上海市本地企业生产状况,推动上海市年度清单编制工作顺利开展和常态化持续进行,《上海市半导体生产企业含氟气体的温室气体排放因子研究》课题组正式成立。

同际公司王凡部长作了开题报告,研究将基于现有的《省级温室气体清单》与《2006年IPCC国家温室气体清单指南》中的计算方法进一步深入开展。

项目将对研究中的重点和难点问题进行讨论:含氟气体种类、相关数据统计现状、项目实施中排放因子通过企业调研了解的相关参数进行调整。最后,通过实例验证明确方案中确定的排放因子在实际操作中的可行性、准确性与科学性。项目实施中主要针对相关企业的数据统计系统、生产技术参数、尾气浓度监测这三方面,采用调查问卷的形式开展数据收集工作。

中芯国际、上海先进、台积电和协会代表就课题研究进行发言。

市信息中心刘佳主任提出国家之前编制温室气体清单时,集成电路半导体行业数据基础较差,仅能通过产量数据计算温室气体排放量。而且,相关的排放因子是否符合本市现状存在疑问。上海市的数据基础比全国好,可研究适应本市现状的含氟气体计算方法与排放因子。

同时,上海市电子企业已经纳入本市碳排放交易,2017年之后国家也会考虑把重点的电子企业纳入全国碳排放交易。中国标准化研究院已编制10个行业的核算标准,其中,温室气体主要是二氧化碳,但含氟气体也是温室气体,它也将在后期标准完善的范围内。

如果本市目前制定的标准较完善,之后国家也会采纳上海的标准扩展至国家标准。希望通过研究1)摸清本市半导体企业温室气体的家底,为国家标准制定提供数据基础;2)依靠本市半导体行业的代表性,为后续碳交易提供辅助;3)基于本市半导体行业的特色,制定国内领先的排放标准。

上海应对气候变化方面有统计核算体系,针对清单编制有项目与经费支持,可以做到统计、核算、监测、报告等方面的能力逐步培育提升,课题研究需要考虑科学性,兼顾企业的可操作性。

市发改委郭建利副处长表示国家正在建设全国的碳市场,上海也争取进入全国碳市场。集成电路企业能耗均在几十万吨标煤,在碳减排方面需要筹备起来,以应对之后国家上或市场上对碳标签等相关的约束制度。

当前对于半导体行业温室气体排放因子的研究工作非常重要,需要逐步深入开展。可在每年清单的例行研究中,和对于因子的研究一起深入,每年重点解决几个难点问题,比如容器底部残留的气体比例、带有排放控制技术的工艺用气比例与气体被排放控制技术去除的比例先易后难的开展。

本次会议与会专家共同组成课题组,由同际碳资产负责课题的具体开展,上海市集成电路行业协会作为主要课题成员,组织协调协会下各企业及相关专家一起参与课题研究。针对之后开展工作给出几个建议:1)行业内主要的排放设施全覆盖,相关的主要含氟气体种类全覆盖;2)活动水平数据统计准确,选用合适的计算方法,逐步完善排放因子;3)企业可提出具体的减排工作措施,并与国际上对标。

政府针对该措施可给企业一定的精神上或物质上的支持;4)企业需要在节能减排方面与政府政策接轨。

本次研讨会确定:1)CF4、CHF3、C2F6、SF6、C3F8、NF3这6种气体占参会企业的含氟气体使用量80%至90%(不包括制冷剂);2)个别企业存在生产工艺中大量使用制冷剂FC3283的情况,需进一步调研行业中制冷剂使用情况;3)各参会企业的含氟气体排放当量占各企业总排放当量50%左右。

下一步将1)参会企业整理含氟气体种类及每种气体的使用量占比情况,反馈给课题组;2)参会企业容积比例的相关数据反馈给课题组;3)课题组继续调研半导体行业内其他企业含氟气体种类及使用量,以及容积比例、被排放控制技术去除的比例等参数。