王奇纳米中心国家纳米科学中心系列纳米台阶高度标准物质研究获进展

2017-08-30

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文章简介：在国家重大研究计划课题支持下,国家纳米科学中心开展的纳米台阶标准研制工作已取得重要进展.经国家质量监督检验检疫总局发文(国质检量[2011]168号和[2011

在国家重大研究计划课题支持下,国家纳米科学中心开展的纳米台阶标准研制工作已取得重要进展。

经国家质量监督检验检疫总局发文(国质检量[2011]168号和[2011]339号)批准,中心已获得5个系列纳米台阶高度国家一级标准物质证书及计量器具许可证。该系列标准由纳米中心刘前、王奇、郭延军、李晓军等与中国计量科学研究院经过5年的通力合作完成,是国家首次批准的物理量纳米标准物质。

该标准物质采用了计量型原子力显微镜进行绝对法定值,定值结果直接溯源至激光波长国家基准,定值数据准确可靠,不确定度达到国际先进水平,填补了国家空白,为我国探针型设备,如扫描探针显微镜(SPM)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪、轮廓仪等,提供了从纳米到微米尺度的校准用标准物质,并能为这些设备所在实验室的检测结果比对及溯源提供依据,对满足国内半导体、微电子行业应用需求,及推动我国微纳米科学技术的发展具有重要意义。