刘新宇中科院微电子 中科院微电子所与爱发科联合实验室签字仪式在京举行

2018-04-12
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文章简介:这次成立联合实验室,双方运用中科院微电子所拥有的微电子器件有关的技术和爱发科集团拥有的与真空镀膜设备及工艺技术有关的技术,在MEMS.存储器.功率器件及传感器领域,针对开发主题共同实施开发,互相协助力求其实用化.双方一致认为,双方具有非常强的优势互补关系,是充分发挥双方各自特长.实现产学研无缝对接.可同时满足核心技术研究和产业化需要的最佳途径.双方将成立联合实验室,在资源共享.技术开发.人才交流与培训等方面进行深入合作,以支持和推动在相关核心技术方面的研究和积累.联合实验室将成为双方合作的窗口和

这次成立联合实验室,双方运用中科院微电子所拥有的微电子器件有关的技术和爱发科集团拥有的与真空镀膜设备及工艺技术有关的技术,在MEMS、存储器、功率器件及传感器领域,针对开发主题共同实施开发,互相协助力求其实用化。

双方一致认为,双方具有非常强的优势互补关系,是充分发挥双方各自特长、实现产学研无缝对接、可同时满足核心技术研究和产业化需要的最佳途径。双方将成立联合实验室,在资源共享、技术开发、人才交流与培训等方面进行深入合作,以支持和推动在相关核心技术方面的研究和积累。联合实验室将成为双方合作的窗口和新技术科研成果的实验基地。

联合实验室将利用ULVAC制造 SME-200型溅射设备开展微电子工艺开发,ULVAC SME-200设备是一款多功能溅射设备,最多可以搭载八个腔室,可针对研究开发和少量生产用途,在8inch Si基板上进行沉积金属,氧化物,氮化物薄膜等先进材料,设备可实现全自动搬送、数据自动存储、保证工艺结果稳定性等功能。通过利用该设备,双方将在MEMS、存储器、功率器件及传感器等领域展开工艺研发合作。